J 2001

Optical Characterization of Diamond-like Carbon Films

FRANTA, Daniel, Lenka ZAJÍČKOVÁ, Ivan OHLÍDAL a Jan JANČA

Základní údaje

Originální název

Optical Characterization of Diamond-like Carbon Films

Autoři

FRANTA, Daniel (203 Česká republika, garant), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika), Ivan OHLÍDAL (203 Česká republika) a Jan JANČA (203 Česká republika)

Vydání

Vacuum, USA, ELSEVIER (PERGAMON), 2001, 0042-207X

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Spojené státy

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

Impakt faktor

Impact factor: 0.541

Kód RIV

RIV/00216224:14310/01:00004311

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

000168796500034

Klíčová slova anglicky

DLC films; Ellipsometry; Optical properties; Amorphous materials

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 17. 7. 2007 17:45, doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.

Anotace

V originále

In this contribution the results achieved by the optical characterization of diamond like carbon (DLC) films are presented. A multi-sample modification of variable angle of incidence spectroscopic ellipsometry (VASE) is used to determine the values of the thicknesses and spectral dependences of the optical constants of these films. It is shown that this optical method is very suitable for characterizing the films studied because the influences of some defects of these films are suppressed within this method. Further the spectral dependences of the optical constants determined for the DLC films studied are interpreted using a new model of dispersion based on the existence of two oscillators corresponding to both the pi-pi* and sigma-sigma* interband transitions. Within this model of dispersion of the optical constants the concept of the band gap is respected as well.

Návaznosti

GA202/00/P037, projekt VaV
Název: Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu
Investor: Grantová agentura ČR, Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu
GA202/98/0988, projekt VaV
Název: Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod
Investor: Grantová agentura ČR, Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod
GV106/96/K245, projekt VaV
Název: Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy
Investor: Grantová agentura ČR, Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy
MSM 143100003, záměr
Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
VS96084, projekt VaV
Název: Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze