OHLÍDAL, Ivan, Daniel FRANTA, Miroslav FRUMAR, Jaroslav JEDELSKÝ a Jaroslav OMASTA. Influence of Composition, Exposure and Thermal Annealing on Optical Properties of As-S Chalcogenide Thin Films. Journal of Optoelectronics and Advanced Materials. Bucharest: INOE & INFM, 2004, roč. 6, č. 1, s. 139-148. ISSN 1454-4164.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Influence of Composition, Exposure and Thermal Annealing on Optical Properties of As-S Chalcogenide Thin Films
Název česky Vliv složení, exposice a tepelného zahřívání na optické vlastnosti tenkých vrstev As-S chalkogenidů
Autoři OHLÍDAL, Ivan (203 Česká republika, garant), Daniel FRANTA (203 Česká republika), Miroslav FRUMAR (203 Česká republika), Jaroslav JEDELSKÝ (203 Česká republika) a Jaroslav OMASTA (203 Česká republika).
Vydání Journal of Optoelectronics and Advanced Materials, Bucharest, INOE & INFM, 2004, 1454-4164.
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Článek v odborném periodiku
Obor 10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele Rumunsko
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
WWW URL
Impakt faktor Impact factor: 1.003
Kód RIV RIV/00216224:14310/04:00011460
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
UT WoS 000220389800017
Klíčová slova anglicky As-S chalcogenide films; Ellipsometry; Combined spectrophotometric method; Amorphous materials; Optical constants
Štítky Amorphous materials, As-S chalcogenide films, Combined spectrophotometric method, ellipsometry, optical constants
Změnil Změnil: Mgr. Daniel Franta, Ph.D., učo 2000. Změněno: 3. 2. 2006 09:05.
Anotace
In this paper the influence of the technological conditions, i.e. As concentration, UV iradiation and anealing, on the optical constants, thickness and material parameters of chalcogenide As-S thin films is studied. For determining the values of the parameters mentioned the optical method based on interpreting experimental data consiting of spectral dependences of the transmittance measured at normal incidence and spectral dependences of the ellipsometric quantities measured for several incidence angles is used. Within the interpretation of the experimental data the Jellison-Modine dispersion model is employed. It is shown that this dispersion model is not suitable for interpreting the spectral dependences of the transmittance of the films studied. Moreover, within the interpretation of the experimental data the physical model containing on isotropic inhomogeneous layer covered with a non-absorbing overlayer is employed for representing the films under investigation.
Anotace česky
V článku je studován vliv technologických podmínek, tj. koncentrace As, UV záření a zahřívání, na optické konstanty, tloušťku a materiálové parametry tenkých vrstev chalkogenidů typu As-S. Pro určení hodnot těchto parametrů je využita optická metoda založená na interpretaci experimentálních dat sestávajících se spektrálních závislostí propustnosti měřené při kolmém dopadu světla a spektrálních závislostí elipsometrických veličin měřených v několika úhlech dopadu. V rámci interpretace experimentálních dat je využit Jellison-Modine dispersní model. V práci jsme ukázáno, že tento dispersní model není vhodný pro interpretaci spektrálních závislostí propustnosti studovaných tenkých vrstev. Navíc je při interpretaci experimentálních dat využit fyzikální model obsahující isotropní nehomogenní vrstvu pokrytou neabsorbující povrchovou vrstvou.
Návaznosti
GA203/00/0085, projekt VaVNázev: Optické vlastnosti skel a amorfních tenkých vrstev sulfidů a selenidů
Investor: Grantová agentura ČR, Optické vlastnosti skel a amorfních tenkých vrstev sulfidů a selenidů
VytisknoutZobrazeno: 26. 4. 2024 14:20