FRANTA, Daniel a Ivan OHLÍDAL. Characterization of optical thin films exhibiting defects. In Advances in Optical Thin Films II. Bellingham, Washington, USA: SPIE - The International Society for Optical Engineering. s. 59632H-1-59632H-12, 12 s. ISBN 0-8194-5981-X. 2005.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Characterization of optical thin films exhibiting defects
Název česky Charakterizace optických tenkých vrstev vykazující defekty
Autoři FRANTA, Daniel (203 Česká republika, garant) a Ivan OHLÍDAL (203 Česká republika).
Vydání Bellingham, Washington, USA, Advances in Optical Thin Films II, od s. 59632H-1-59632H-12, 12 s. 2005.
Nakladatel SPIE - The International Society for Optical Engineering
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Stať ve sborníku
Obor 10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele Spojené státy
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
WWW URL
Kód RIV RIV/00216224:14330/05:00013207
Organizační jednotka Fakulta informatiky
ISBN 0-8194-5981-X
Klíčová slova anglicky ellipsometry; spectrophotometry; thin films; roughness; refractive index profile
Štítky ellipsometry, refractive index profile, Roughness, Spectrophotometry, thin films
Změnil Změnil: RNDr. JUDr. Vladimír Šmíd, CSc., učo 1084. Změněno: 27. 4. 2006 19:54.
Anotace
In this paper the mathematical formalism enabling us to include defects of thin films into the formulae expressing their optical quantities is presented. The attention is devoted to the defects consisting in boundary roughness and inhomogeneity corresponding to the refractive index profile. This mathematical formalism is based on 2x2 matrix algebra. The Rayleigh-Rice theory (RRT) is used for describing boundary roughness. The refractive index profile is included into the matrix formalism by means a special procedure based on combination of the Drude and Wentzel-Kramers-Brillouin-Jeffries (WKBJ) approximations. The mathematical formalism is applied for the optical characterization of thin films of TiO2 and As-S chalcogenides. Using this formalism the experimental data corresponding to the ellipsometric quantities, reflectance measured from the ambient side, reflectance measured from the substrate side and transmittance are treated. The corrections of the systematic errors connected with the reflection accessory of the spectrometer used is carried out using the special procedure.
Anotace česky
V tomto článku je prsentován matematický formalismus umožňující zahrnout defekty tenkých vrstev do rovnic vyjadřujících jejich optické konstanty. Pozornost je věnována defektům sestávajícím se z drsnosti rozhraní a nehomogenity odpovídající profilu indexu lomu. Tento matematický formalismus je založen na 2X2 maticové algebře. Rayleigh-Riceova teorie (RRT) je použita pro popis drsnosti rozhraní. Profil indexu lomu je zahrnut do maticového formalismu pomocí speciální metody založené na kombinaci Drudeho a Wentzel-Kramers-Brillouin -Jeffries (WKBJ) aproximaci. Matematický formalismus je aplikován pro optickou charakterizaci vrstev TiO2 a As-S chalkogenidů. Použitím tohoto formalismu jsou zpracována experimentální data odpovídající elipsometrickým veličinám, odrazivosti měřené ze strany vnějšího prostředí, odrazivosti měřené ze strany podložky, a propustnosti. Opravy systematických chyb spojených s přístavkem pro měření odrazivosti v použitém spektrofotometru jsou provedeny prostřednictvím speciální procedury.
Návaznosti
GA203/05/0524, projekt VaVNázev: Fotonická skla a amorfní vrstvy
Investor: Grantová agentura ČR, Fotonická skla a amorfní vrstvy
MSM0021622411, záměrNázev: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
VytisknoutZobrazeno: 19. 4. 2024 21:50