2005
Characterization of optical thin films exhibiting defects
FRANTA, Daniel a Ivan OHLÍDALZákladní údaje
Originální název
Characterization of optical thin films exhibiting defects
Název česky
Charakterizace optických tenkých vrstev vykazující defekty
Autoři
Vydání
Bellingham, Washington, USA, Advances in Optical Thin Films II, od s. 59632H-1-59632H-12, 12 s. 2005
Nakladatel
SPIE - The International Society for Optical Engineering
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Stať ve sborníku
Obor
10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele
Spojené státy
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Odkazy
Kód RIV
RIV/00216224:14330/05:00013207
Organizační jednotka
Fakulta informatiky
ISBN
0-8194-5981-X
Klíčová slova anglicky
ellipsometry; spectrophotometry; thin films; roughness; refractive index profile
Změněno: 27. 4. 2006 19:54, RNDr. JUDr. Vladimír Šmíd, CSc.
V originále
In this paper the mathematical formalism enabling us to include defects of thin films into the formulae expressing their optical quantities is presented. The attention is devoted to the defects consisting in boundary roughness and inhomogeneity corresponding to the refractive index profile. This mathematical formalism is based on 2x2 matrix algebra. The Rayleigh-Rice theory (RRT) is used for describing boundary roughness. The refractive index profile is included into the matrix formalism by means a special procedure based on combination of the Drude and Wentzel-Kramers-Brillouin-Jeffries (WKBJ) approximations. The mathematical formalism is applied for the optical characterization of thin films of TiO2 and As-S chalcogenides. Using this formalism the experimental data corresponding to the ellipsometric quantities, reflectance measured from the ambient side, reflectance measured from the substrate side and transmittance are treated. The corrections of the systematic errors connected with the reflection accessory of the spectrometer used is carried out using the special procedure.
Česky
V tomto článku je prsentován matematický formalismus umožňující zahrnout defekty tenkých vrstev do rovnic vyjadřujících jejich optické konstanty. Pozornost je věnována defektům sestávajícím se z drsnosti rozhraní a nehomogenity odpovídající profilu indexu lomu. Tento matematický formalismus je založen na 2X2 maticové algebře. Rayleigh-Riceova teorie (RRT) je použita pro popis drsnosti rozhraní. Profil indexu lomu je zahrnut do maticového formalismu pomocí speciální metody založené na kombinaci Drudeho a Wentzel-Kramers-Brillouin -Jeffries (WKBJ) aproximaci. Matematický formalismus je aplikován pro optickou charakterizaci vrstev TiO2 a As-S chalkogenidů. Použitím tohoto formalismu jsou zpracována experimentální data odpovídající elipsometrickým veličinám, odrazivosti měřené ze strany vnějšího prostředí, odrazivosti měřené ze strany podložky, a propustnosti. Opravy systematických chyb spojených s přístavkem pro měření odrazivosti v použitém spektrofotometru jsou provedeny prostřednictvím speciální procedury.
Návaznosti
| GA203/05/0524, projekt VaV |
| ||
| MSM0021622411, záměr |
|