J 2005

Evidence of refractive index change in glass substrates induced by high-density reactive ion plating deposition of SiO2 films

JAN, Mistrík; Ivan OHLÍDAL; Roman ANTOŠ; Mitsuru AOYAMA; Tomuo YAMAGUCHI et. al.

Základní údaje

Originální název

Evidence of refractive index change in glass substrates induced by high-density reactive ion plating deposition of SiO2 films

Název česky

Důkaz změny indexu lomu ve skleněných podložkách indukovanou deposicí SiO2 vrstev reaktivním plátováním s vysokou hustotou

Autoři

JAN, Mistrík; Ivan OHLÍDAL; Roman ANTOŠ; Mitsuru AOYAMA a Tomuo YAMAGUCHI

Vydání

Applied Surface Science, USA, ELSEVIER (NORTH-HOLLAND), 2005, 0169-4332

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Spojené státy

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Impakt faktor

Impact factor: 1.263

Kód RIV

RIV/00216224:14310/05:00015081

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

000228600200013

Klíčová slova anglicky

ellipsometry; reflectometry; ion plating; SiO2/glass interface; change of refractive index; plasma-assisted deposition; Schott B270
Změněno: 28. 2. 2006 19:41, prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc.

Anotace

V originále

High-density reactive ion plating was used for SiO2 coating of Schott B270 glass. Optical properties of the sample were intensively studied by spectroscopic ellipsometry, reflectance and transmittance. Several optical models accounting for different structural defects, i.e., (1) gradient profile of refractive index in SiO2 layer, (2) transition layer between SiO2 and glass, and (3) induced slow variation of glass refractive index close to SiO2/glass interface were considered. The last one with increased value of substrate refractive index gave the best correspondence with the experimental data. (c) 2004 Elsevier B.V. All rights reserved.

Česky

Reaktivní plátování s vysokou hustotou bylo použito pro pokrývání skla Schott B270 vrstvami SiO2. Optické vlastnosti vzorku byly rozsáhle studovány spektroskopickou elipsometrií, odrazivostí a propustností. Několik optických modelů bylo použito pro započtení strukturních defektů, tj. (1) gradientní profil indexu lomu v SiO2 vrstvě, (2) přechodová mezivrstva mezi SiO2 a sklem a (3) slabé změny v indexu lomu skla blízko rozhraní SiO2/sklo byly uvažovány. Poslední z nich obsahující zvýšení indexu lomu podložky vykazoval nejlepší korespondenci s experimentálními daty.

Návaznosti

MSM0021622411, záměr
Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek