Evidence of refractive index change in glass substrates induced by high-density reactive ion plating deposition of SiO2 films

JAN, Mistrík, Ivan OHLÍDAL, Roman ANTOŠ, Mitsuru AOYAMA a Tomuo YAMAGUCHI. Evidence of refractive index change in glass substrates induced by high-density reactive ion plating deposition of SiO2 films. Applied Surface Science. USA: ELSEVIER (NORTH-HOLLAND), roč. 244, 1-4, s. 51-54. ISSN 0169-4332. 2005.

Základní údaje

• Originální název: Evidence of refractive index change in glass substrates induced by high-density reactive ion plating deposition of SiO2 films
• Název česky: Důkaz změny indexu lomu ve skleněných podložkách indukovanou deposicí SiO2 vrstev reaktivním plátováním s vysokou hustotou
• Autoři: JAN, Mistrík (203 Česká republika), Ivan OHLÍDAL (203 Česká republika, garant), Roman ANTOŠ (203 Česká republika), Mitsuru AOYAMA (392 Japonsko) a Tomuo YAMAGUCHI (392 Japonsko).
• Vydání: Applied Surface Science, USA, ELSEVIER (NORTH-HOLLAND), 2005, 0169-4332.

Další údaje

• Originální jazyk: angličtina
• Typ výsledku: Článek v odborném periodiku
• Obor: 10302 Condensed matter physics
• Stát vydavatele: Spojené státy
• Utajení: není předmětem státního či obchodního tajemství
• Impakt faktor: Impact factor: 1.263
• Kód RIV: RIV/00216224:14310/05:00015081
• Organizační jednotka: Přírodovědecká fakulta
• UT WoS: 000228600200013
• Klíčová slova anglicky: ellipsometry; reflectometry; ion plating; SiO2/glass interface; change of refractive index; plasma-assisted deposition; Schott B270
• Štítky: change of refractive index, ellipsometry, ion plating, plasma-assisted deposition, Reflectometry, Schott B270, SiO2/glass interface

Anotace

High-density reactive ion plating was used for SiO2 coating of Schott B270 glass. Optical properties of the sample were intensively studied by spectroscopic ellipsometry, reflectance and transmittance. Several optical models accounting for different structural defects, i.e., (1) gradient profile of refractive index in SiO2 layer, (2) transition layer between SiO2 and glass, and (3) induced slow variation of glass refractive index close to SiO2/glass interface were considered. The last one with increased value of substrate refractive index gave the best correspondence with the experimental data. (c) 2004 Elsevier B.V. All rights reserved.

Anotace česky

Reaktivní plátování s vysokou hustotou bylo použito pro pokrývání skla Schott B270 vrstvami SiO2. Optické vlastnosti vzorku byly rozsáhle studovány spektroskopickou elipsometrií, odrazivostí a propustností. Několik optických modelů bylo použito pro započtení strukturních defektů, tj. (1) gradientní profil indexu lomu v SiO2 vrstvě, (2) přechodová mezivrstva mezi SiO2 a sklem a (3) slabé změny v indexu lomu skla blízko rozhraní SiO2/sklo byly uvažovány. Poslední z nich obsahující zvýšení indexu lomu podložky vykazoval nejlepší korespondenci s experimentálními daty.

Návaznosti

• MSM0021622411, záměr: Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek