J 2006

Characterization of polymer thin films deposited on aluminum films by the combined optical method and atomic force microscopy

FRANTA, Daniel; Ivan OHLÍDAL; Petr KLAPETEK; Růžena NEPUSTILOVÁ; Svatopluk BAJER et. al.

Základní údaje

Originální název

Characterization of polymer thin films deposited on aluminum films by the combined optical method and atomic force microscopy

Název česky

Charakterizace polymerních tenkých vrstev deponovaných na hliníkových vrstvách pomocí kombinované optické metody a mikroskopie atomové síly

Autoři

FRANTA, Daniel; Ivan OHLÍDAL; Petr KLAPETEK; Růžena NEPUSTILOVÁ a Svatopluk BAJER

Vydání

Surface and Interface Analysis, USA, John Wiley & Sons, 2006, 0142-2421

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Spojené státy

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Impakt faktor

Impact factor: 1.427

Kód RIV

RIV/00216224:14310/06:00016537

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

000237437100160

Klíčová slova anglicky

ellipsometry; reflectometry; polymer films; AFM

Štítky

Změněno: 31. 1. 2007 20:18, Mgr. Daniel Franta, Ph.D.

Anotace

ORIG CZ

V originále

In this paper, the results of the optical characterization of polymer thin films, deposited by the plasma enhanced chemical vapor deposition on the aluminum films performed by the multisample modification of the optical method based on combination of variable angle spectroscopic ellipsometry and near-normal spectroscopic reflectometry, are presented. Within this characterization, the existence of roughness of the boundaries of the polymer films is taken into account by means of the Rayleigh-Rice theory. The optical constants of these films are described by the dispersion model based on parameterization of the density of electronic states. It is shown that the optical constants of the polymer films depend on their thicknesses, i.e. on the deposition times. Morphology of the upper boundaries of the polymer films is also studied using atomic force microscopy.

Česky

V tomto článku

Návaznosti

FT-TA/094, projekt VaV
Název: *Vývoj metod pro charakterizaci defektů na površích pevných látek.
Investor: Ministerstvo průmyslu a obchodu ČR, Vývoj metod pro charakterizaci defektů na površích pevných látek
MSM 143100003, záměr
Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
MSM0021622411, záměr
Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek