DVOŘÁK, Pavel a Zdeněk MORAVEC. DEPENDENCE OF HIGHER HARMONIC FREQUENCIES MEASURED IN CAPACITIVELY COUPLED PLASMA ON THE MATCHING UNIT PARAMETERS. Chemické listy, Brno: Česká společnost chemická, 2008, roč. 102, s1311-1538, s. 1356 - 1359. ISSN 1803-2389.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název DEPENDENCE OF HIGHER HARMONIC FREQUENCIES MEASURED IN CAPACITIVELY COUPLED PLASMA ON THE MATCHING UNIT PARAMETERS
Název česky Závislost vyšších harmonických frekvencí měřených v kapacitně vázaném výboji na parametrech přizpůsobovacího členu
Autoři DVOŘÁK, Pavel (203 Česká republika, garant) a Zdeněk MORAVEC (203 Česká republika).
Vydání Chemické listy, Brno, Česká společnost chemická, 2008, 1803-2389.
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Článek v odborném periodiku
Obor 10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele Česká republika
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV RIV/00216224:14310/08:00027076
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
UT WoS 000208452600011
Klíčová slova anglicky plasma; discharge; higher harmonics; capacitive; matching
Štítky capacitive, discharge, higher harmonics, Matching, plasma
Změnil Změnil: doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D., učo 16711. Změněno: 22. 12. 2008 11:16.
Anotace
Higher harmonic frequencies of electric voltage and current are significant features of low-pressure capacitively coupled discharges. Their behaviour is quite complex since it is a function of many plasma and reactor parameters. This article deals with the influence of matching unit parameters on amplitudes of higher harmonics, which were measured by means of an uncompensated probe immersed into the plasma of an asymmetric capacitive discharge. Most of the harmonics reached their maxima in the case of optimal matching, i.e. when the RF power delivered to the discharge was maximal. However, the amount of the power delivered to the discharge did not explain the behaviour of higher harmonics sufficiently. It was shown that at our experimental conditions the behaviour of higher harmonics was determined by the sheath voltage.
Anotace česky
Byla měřena závislost amplitud vyšších harmonických frekvencí generovaných nízkotlakým asymetrickým kapacitně vázaným výbojem na parametrech přizpůsobovacího členu. Většina vyšších harmonických frekvencí měla největší amplitudu při optimálním přizpůsobení, nicméně hodnota výkonu dodávaného do plazmatu nevysvětlila chování harmonik dostatečně. Ukázalo se, že chování vyšších harmonických frekvencí je řízeno napětím na vrstvě prostorového náboje u elktrody.
Návaznosti
MSM0021622411, záměrNázev: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Výzkumné záměry
VytisknoutZobrazeno: 29. 5. 2020 07:10