Závěrečná práce: Bc. Kristína Tomanková: Simulation of oxygen plasma in a hollow cathode plasma source
Diplomová práce
Simulation of oxygen plasma in a hollow cathode plasma source
Anotace
Cílem této práce je vyvinout kombinaci globálního modelu plazmatu a tekutinového modelu v kyslíkové atmosféře za účelem popsat plazmový zdroj s dutou katodou, který je využíván při PECVD (plazmatem podporovaná chemická depozice z plynné fáze) pro deponování SiO2. Pro identifikaci škálovacího parametru procesu jsme provedli mnohé parametrické studie pomocí globálního modelu plazmatu. Prostorové vlastnosti …více
Abstract
The aim of this thesis is to develop a combination of a global plasma model and a fluid model in oxygen to describe a hollow cathode plasma source utilized in PECVD (plasma-enhanced chemical vapor deposition) for depositing SiO2. Numerous parametric studies are performed using the global plasma model to identify the scaling para-meter of the process. Spatial plasma properties are studied through the …více
Zadání práce
19. 5. 2023 10:00, Mgr. Adam Obrusník, Ph.D., učo 356468
Konzultanti
abs PřF MU
stud PřF MU
Práce na příbuzné téma
Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.
-
Sterilizace v dohasínajícím plazmatu
Mgr. Lucia Kuthanová, Ph.D., učo 270282 -
Evoluční a fyziologické adaptace na nedostatek kyslíku u člověka
Mgr. Veronika Sikorová -
Regulace osudu neurálních kmenových buněk různou hladinou kyslíku
MDDr. Bc. Iveta Shorná -
Vybraná témata z chemie anglicky pro 8. a 9. ročník ZŠ
Mgr. Iva Rabiňáková -
Vytvoření zpřesněné izotopové mapy kyslíku pro oblast ČR s využitím radiokarbonově datovaných vzorků lidského chrupu
Bc. Jana Scheerová -
Příklady využití markovských řetězců se spojitým časem
Mgr. Petra Cabalková -
Development of Fluent Speaking in the Second Grade of the Secondary School
Mgr. Jana Nožičková -
Simulace, pravidla a mediace: Interface strategických počítačových her
Bc. Miloš Slabotinský, učo 253632




