Diplomová práce

Simulation of oxygen plasma in a hollow cathode plasma source

Bc. Kristína Tomanková
Anotace

Cílem této práce je vyvinout kombinaci globálního modelu plazmatu a tekutinového modelu v kyslíkové atmosféře za účelem popsat plazmový zdroj s dutou katodou, který je využíván při PECVD (plazmatem podporovaná chemická depozice z plynné fáze) pro deponování SiO2. Pro identifikaci škálovacího parametru procesu jsme provedli mnohé parametrické studie pomocí globálního modelu plazmatu. Prostorové vlastnosti …více

Abstract

The aim of this thesis is to develop a combination of a global plasma model and a fluid model in oxygen to describe a hollow cathode plasma source utilized in PECVD (plasma-enhanced chemical vapor deposition) for depositing SiO2. Numerous parametric studies are performed using the global plasma model to identify the scaling para-meter of the process. Spatial plasma properties are studied through the …více

Zadání práce
Hollow cathode plasma sources are unique especially by the high ionization rate per unit power. This is achieved especially thanks to secondary electron emission, which is further enhanced by a geometrical factor, wall heating and optionally wall surface modification. Hollow cathode plasma sources have applications e.g. in material science or electric propulsion systems for satellites. The aim of the thesis is to develop physics-based numerical models of a hollow cathode reactor and determine under which conditions are these models equivalent. In particular, the student will formulate and implement a two-dimensional fluid model of non-LTE plasma and a zero-dimensional global plasma model with similar physics. The expected advantage of the global plasma model is especially its high computational efficiency, the expected disadvantage is neglecting some of the geometrical effects. The thesis is related to the applied research project M-era.net MIST and the simulation tools will be provided to the student by the PlasmaSolve company. The student will also be given the opportunity to validate model results against plasma characterization performed by project partners.
Práce zkontrolována:
19. 5. 2023 10:00, Mgr. Adam Obrusník, Ph.D., učo 356468
Jazyk práce
angličtina angličtina
Termín obhajoby
12. 6. 2023
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

Mgr. Adam Obrusník, Ph.D., učo 356468
DMP ÚFTP Fyz PřF MU

Oponent

Dr. Oleg Zabeida
University of Montreal

Konzultanti

Mgr. Martin Kubečka, Ph.D.
abs PřF MU
Mgr. Kryštof Mrózek
stud PřF MU

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.
  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.
  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.
  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.
  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.