Bakalářská práce

Měření pnutí v tenkých vrstvách s využitím rentgenové difrakce

Stress in thin films measured by x-ray diffraction

Slavomír Mičienka
Anotace

V tenkej vrstve deponovanej na substrát obecne existuje interné pnutie, ktoré môže vzniknúť z rôznych príčin, buď priamo pri depozícii vrstvy, alebo pri následnom tepelnom spracovaní. Témou práce je rozpracovať metodiku merania pnutia v tenkých vrstvách zo zakrivenia monokryštalického substrátu pri vysokoteplotnom žíhaní za použitia goniometru. Výsledkom experimentu by malo byť stanovenie možností …více

Abstract

There is an elastic internal stress which in general existsts in thin film deponated on the substrate. This stress can occure in many cases, eather directly by deposition of the film, or by thermal processing. The main aim of this work is to elaborate measurement methodics of stress in thin – film from the curvature of monocrystalic substrate in situ heating and with a use of goniometer. The result …více

Práce zkontrolována:
11. 10. 2008 12:56, (IS automaticky)
Plný text práce
819,2 KB / soubor PDF
Jazyk práce
čeština čeština
Termín obhajoby
27. 6. 2007
Práce byla úspěšně obhájena

Vedoucí

doc. RNDr. Zdeněk Bochníček, Dr., učo 438
ÚFTP Fyz PřF MU

Oponent

Autor posudku dosud neidentifikován.

 
Název
Vložil
Vloženo
Práva
Archiv závěrečné práce Slavomír Mičienka PřF B-FY FYZ lb4b0/6
Mičienka, S.
25. 5. 2007
  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.
  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.
  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.
  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.
  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.