Závěrečná práce: Slavomír Mičienka: Měření pnutí v tenkých vrstvách s využitím rentgenové difrakce
Bakalářská práce
Měření pnutí v tenkých vrstvách s využitím rentgenové difrakce
Stress in thin films measured by x-ray diffraction
Anotace
V tenkej vrstve deponovanej na substrát obecne existuje interné pnutie, ktoré môže vzniknúť z rôznych príčin, buď priamo pri depozícii vrstvy, alebo pri následnom tepelnom spracovaní. Témou práce je rozpracovať metodiku merania pnutia v tenkých vrstvách zo zakrivenia monokryštalického substrátu pri vysokoteplotnom žíhaní za použitia goniometru. Výsledkom experimentu by malo byť stanovenie možností …více
Abstract
There is an elastic internal stress which in general existsts in thin film deponated on the substrate. This stress can occure in many cases, eather directly by deposition of the film, or by thermal processing. The main aim of this work is to elaborate measurement methodics of stress in thin – film from the curvature of monocrystalic substrate in situ heating and with a use of goniometer. The result …více
11. 10. 2008 12:56, (IS automaticky)
- Zadáno/změněno 29. 6. 2007 09:41, Jindřiška Chlebečková
- Záznam založen 17. 1. 2007 09:59, Jindřiška Chlebečková
- Zveřejnit od 25. 5. 2007 13:11, Jindřiška Chlebečková
- Práce převzata 25. 5. 2007 13:11, Jindřiška Chlebečková
Vedoucí
Práce na příbuzné téma
Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.
-
Korelace různých metod měření rohovkových parametrů
Mgr. Markéta Vítková -
Charakterizace TiAlON povlaků připravených technikou magnetronového naprašování buzeného pulzy velkého výkonu
Bc. Jakub Motl -
Určování deformace tenkých vrstev pomocí rtg difrakce
Mgr. Václav Valeš -
Depozice tenkých vrstev pomocí plazmové tužky za atmosférického tlaku
Mgr. Jan Okleštěk, učo 211069 -
Plazmochemická příprava ternárních vrstev karbidů a jejich charakterizace
Mgr. Josef Daniel, Ph.D., učo 269028 -
Study of PVD process driven by high power pulses
Mgr. Peter Klein, Ph.D., učo 269740 -
Příprava perspektivních nanolaminátů pomocí magnetronového naprašování a jejich charakterizace
Mgr. Stanislava Debnárová, Ph.D., učo 408573 -
Určování optických konstant a strukturních parametrů tenkých DLC vrstev s příměsí křemíku a kyslíku
Bc. Pavlína Kührová, učo 474850




