F6400 Praktikum v laboratoři polovodičových technologií

Přírodovědecká fakulta
podzim 2025
Rozsah
0/0/2. 2 kr. (plus ukončení). Ukončení: z.
Vyučováno kontaktně
Vyučující
doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D. (přednášející)
Garance
doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.
Ústav fyziky kondenzovaných látek – Fyzikální sekce – Přírodovědecká fakulta
Kontaktní osoba: doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.
Dodavatelské pracoviště: Ústav fyziky kondenzovaných látek – Fyzikální sekce – Přírodovědecká fakulta
Omezení zápisu do předmětu
Předmět je nabízen i studentům mimo mateřské obory.
Mateřské obory/plány
Cíle předmětu
Cílem předmětu je umožnit studentům realizaci kompletního technologického postupu vedoucího k přípravě aktivních polovodičových součástek (diody, tranzistory, testovací struktury) na křemíkové desce v polovodičové laboratoři - čistých prostorách pro mikroelektroniku (třída čistoty ISO 5). Během a po skončení bude využito příslušných analyzačních metod pro analýzu strukturních a elektrických vlastností připravovaných součástek.
Výstupy z učení
Po dokončení kurzu bude mít student praktické zkušenosti s prací s křemíkovými deskami v čistých bezprašných prostorách, a bude mít prakticky vyzkoušené standardní technologické procesy (litografie, oxidace, naprašování, ...) , které se využívají při moderní výrobě čipů pro přípravu polovodičových součástek.
Osnova
  • Čisté prostory pro mikroelektroniku.
  • Práce s křemíkovými deskami.
  • Diody, tranzistory, elektronické součástky, čipy.
  • Oxidace, dotace, naprašování.
  • Fotolitografie.
  • Čištění, leptání.
  • Mikroskopické pozorování.
  • Měření tlouštěk.
  • Elektrická měření.
Literatura
  • STREETMAN, Ben G. a Sanjay Kumar BANERJEE. Solid state electronic devices. Seventh edition, global edit. Boston: Pearson, 2016, 616 stran. ISBN 9781292060552. info
  • MACK, Chris A. Fundamental principles of optical lithography : the science of microfabrication. Hoboken, NJ: Wiley, 2007, xvii, 515. ISBN 9780470727300. info
  • WOLF, Stanley a Richard N. TAUBER. Silicon Processing for the VLSI Era. Sunset Beach, California, U.S.A.: Lattice Press, 1999, 960 s. Vol. 1: Process Technology. ISBN 978-0961672164. info
Výukové metody
Laboratorní cvičení.
Metody hodnocení
Pro ukončení předmětu zápočtem je třeba předložit řádně vedený laboratorní deník a výsledky naměřených parametrů součástek.
Informace učitele
https://www.physics.muni.cz/ufkl/equipment/CleanRoom.shtml
Další komentáře
Předmět je vyučován každoročně.
Výuka probíhá každý týden.
Předmět je zařazen také v obdobích podzim 2011, podzim 2011 - akreditace, jaro 2012 - akreditace, podzim 2012, podzim 2013, podzim 2014, podzim 2015, podzim 2016, podzim 2017, podzim 2018, podzim 2019, podzim 2020, podzim 2021, podzim 2022, podzim 2023, podzim 2024.
  • Statistika zápisu (nejnovější)
  • Permalink: https://is.muni.cz/predmet/sci/podzim2025/F6400