2004
Influence of Composition, Exposure and Thermal Annealing on Optical Properties of As-S Chalcogenide Thin Films
OHLÍDAL, Ivan; Daniel FRANTA; Miroslav FRUMAR; Jaroslav JEDELSKÝ; Jaroslav OMASTA et. al.Základní údaje
Originální název
Influence of Composition, Exposure and Thermal Annealing on Optical Properties of As-S Chalcogenide Thin Films
Název česky
Vliv složení, exposice a tepelného zahřívání na optické vlastnosti tenkých vrstev As-S chalkogenidů
Autoři
OHLÍDAL, Ivan; Daniel FRANTA; Miroslav FRUMAR; Jaroslav JEDELSKÝ a Jaroslav OMASTA
Vydání
Journal of Optoelectronics and Advanced Materials, Bucharest, INOE & INFM, 2004, 1454-4164
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele
Rumunsko
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Odkazy
Impakt faktor
Impact factor: 1.003
Kód RIV
RIV/00216224:14310/04:00011460
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
000220389800017
Klíčová slova anglicky
As-S chalcogenide films; Ellipsometry; Combined spectrophotometric method; Amorphous materials; Optical constants
Štítky
Změněno: 3. 2. 2006 09:05, Mgr. Daniel Franta, Ph.D.
V originále
In this paper the influence of the technological conditions, i.e. As concentration, UV iradiation and anealing, on the optical constants, thickness and material parameters of chalcogenide As-S thin films is studied. For determining the values of the parameters mentioned the optical method based on interpreting experimental data consiting of spectral dependences of the transmittance measured at normal incidence and spectral dependences of the ellipsometric quantities measured for several incidence angles is used. Within the interpretation of the experimental data the Jellison-Modine dispersion model is employed. It is shown that this dispersion model is not suitable for interpreting the spectral dependences of the transmittance of the films studied. Moreover, within the interpretation of the experimental data the physical model containing on isotropic inhomogeneous layer covered with a non-absorbing overlayer is employed for representing the films under investigation.
Česky
V článku je studován vliv technologických podmínek, tj. koncentrace As, UV záření a zahřívání, na optické konstanty, tloušťku a materiálové parametry tenkých vrstev chalkogenidů typu As-S. Pro určení hodnot těchto parametrů je využita optická metoda založená na interpretaci experimentálních dat sestávajících se spektrálních závislostí propustnosti měřené při kolmém dopadu světla a spektrálních závislostí elipsometrických veličin měřených v několika úhlech dopadu. V rámci interpretace experimentálních dat je využit Jellison-Modine dispersní model. V práci jsme ukázáno, že tento dispersní model není vhodný pro interpretaci spektrálních závislostí propustnosti studovaných tenkých vrstev. Navíc je při interpretaci experimentálních dat využit fyzikální model obsahující isotropní nehomogenní vrstvu pokrytou neabsorbující povrchovou vrstvou.
Návaznosti
| GA203/00/0085, projekt VaV |
|