FRANTA, Daniel, Ivan OHLÍDAL, Jan MISTÍK, Tomuo YAMAGUCHI, Gu Jin HU a Ning DAI. Optical characterization of sol-gel deposited PZT thin films by spectroscopic ellipsometry and reflectometry in near-UV and visible regions. Applied Surface Science. USA: ELSEVIER (NORTH-HOLLAND), 2005, roč. 244, 1-4, s. 338-342. ISSN 0169-4332.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Optical characterization of sol-gel deposited PZT thin films by spectroscopic ellipsometry and reflectometry in near-UV and visible regions
Název česky Optická charakterizace tenkých vrstev PZT deponovaných sol-gel metodou pomocí spektroskopické elipsometrie a měření odrazivosti v blízké UV a viditelé oblasti
Autoři FRANTA, Daniel (203 Česká republika, garant), Ivan OHLÍDAL (203 Česká republika), Jan MISTÍK (203 Česká republika), Tomuo YAMAGUCHI (392 Japonsko), Gu Jin HU (156 Čína) a Ning DAI (156 Čína).
Vydání Applied Surface Science, USA, ELSEVIER (NORTH-HOLLAND), 2005, 0169-4332.
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Článek v odborném periodiku
Obor 10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele Spojené státy
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
WWW URL
Impakt faktor Impact factor: 1.263
Kód RIV RIV/00216224:14310/05:00014764
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
UT WoS 000228600200078
Klíčová slova anglicky PZT films; Optical constants; Ellipsometry; Reflectometry
Štítky ellipsometry, optical constants, PZT films, Reflectometry
Změnil Změnil: Mgr. Daniel Franta, Ph.D., učo 2000. Změněno: 3. 2. 2006 17:43.
Anotace
In this paper the results concerning the optical characterization of the PZT film are presented. The multi-sample modification of the optical method based on combining variable angle spectroscopic ellipsometry and near-normal spectroscopic reflectometry is used to obtain the spectral dependences of the optical constants of this film within the spectral region 190-1000 nm. Within the near-UV region the sharp features of the spectral dependences of the optical constants are found. These features are explained by the existence of the narrow bands of the 4d and 3d valence electrons of the transition metals Zr and Ti. Within the optical characterization of the PZT film the defects consisting of boundary roughness and refractive index profile are respected.
Anotace česky
V tomto článku jsou uvedeny výsledky týkající se optické charakterizace PZT vrstvy. Vícevzorková modifikace optické metody založené na kombinaci víceúhlové spektroskopické elipsometrie a téměř kolmé spektroskopické reflektometrie je použita pro obdržení spektrálních závislostí optických konstant této vrstvy v rámci spektrální oblasti 190-1000 nm. V blízké UV oblasti ostré tvary spektrálních závislostí optických konstant byly nalezeny. Tyto tvary jsou vysvětleny existencí úzkých pásů 4d a 3d valenčních elektronů přechodových kovů Zr a Ti. V rámci optické charakterizace PZT vrstvy jsou respektovány defekty sestávající se z drsnosti rozhraní a profilu indexu lomu.
Návaznosti
MSM 143100003, záměrNázev: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
VytisknoutZobrazeno: 29. 8. 2024 16:32