2005
Spectroscopic ellipsometry on lamellar gratings
ANTOŠ, Roman; Ivan OHLÍDAL; Jan MISTRÍK; K. MURAKAMI; Tomuo YAMAGUCHI et al.Základní údaje
Originální název
Spectroscopic ellipsometry on lamellar gratings
Název česky
Spektroskopická elipsometrie na lamelárních mřížkách
Autoři
ANTOŠ, Roman; Ivan OHLÍDAL; Jan MISTRÍK; K. MURAKAMI; Tomuo YAMAGUCHI; J. PIŠTORA; M. HORIE a Štefan VIŠŇOVSKÝ
Vydání
Applied Surface Science, USA, ELSEVIER (NORTH-HOLLAND), 2005, 0169-4332
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10306 Optics
Stát vydavatele
Spojené státy
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor
Impact factor: 1.263
Označené pro přenos do RIV
Ano
Kód RIV
RIV/00216224:14310/05:00013300
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
Klíčová slova anglicky
optical metrology; scatterometry; spectroscopic ellipsometry; diffraction grating; wood anomaly; RCWA
Štítky
Změněno: 28. 2. 2006 19:25, prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc.
V originále
Deep lamellar diffraction gratings fabricated by etching a transparent quartz plate are studied using spectroscopic ellipsometry. The rigorous coupled-wave analysis is used to calculate the optical response of the gratings. Three parameters of the rectangular profile are determined by utilizing the least-square method. Detailed investigation of the spectral dependences demonstrates the uniqueness of the solution. Observing the spectral dependences of Wood anomalies suggests that even complicated profiles can be fitted with high authenticity.
Česky
Hluboké lamelární mřížky vyrobené leptáním transparentních destiček z taveného křemene jsou studovány s využitím spektroskopické elipsometrie. Rigorózní analýza pomocí vázaných vln je užita k počítání optické odezvy mřížek. Tři parametry pravoúhlého profilu jsou určeny pomocí metody nejmenších čtverců. Podrobné zkoumání spektrálních závislostí demonstruje jednoznačnost řešení. Pozorováním spektrálních závislostí Woodových anomalií naznačuje, že i komplikované profily mohou být fitovány s vysokou spolehlivostí.
Návaznosti
| GA202/03/0776, projekt VaV |
| |
| ME 574, projekt VaV |
|