Hlavním cílem této diplomové práce je studium procesu přípravy moderních materiálů s potenciálním praktickým využitím. Záměrem je při přípravě těchto materiálů provozovat dva konkurenční procesy přípravy tenkých vrstev - magnetronové naprašování a PECVD - současně. Bude řešen konkrétní případ, kdy zdroj uhlíku, kterým při magnetronovém naprašování bývá rozprašování uhlíkového terče, bude nahrazen přímým dodáváním plynného uhlovodíku do depozičního reaktoru. Bude studována použitelnost tohoto hybridního PVD-PECVD procesu pro přípravu nanokompozitních n-TiC/a-C:H. Jedná se o materiál tvořený nanočásticemi karbidu titanu, které jsou rozprostřeny v amorfní uhlíkové matrici. Tyto vrstvy vykazují zajímavé vlastnosti - vysokou odolnost proti otěru a nízké tření. Tyto dvě vlastnosti je velmi obtížné získat současně. Příprava n-TiC/a-C:H vrstev bude prováděna rozprašováním titanové elektrody v atmosféře tvořené argonem a uhlovodíkem. Zaměříme se na vliv druhu uhlovodíku na kvalitu, složení a strukturu deponovaných vrstev. Za podobných experimentálních podmínek bude připravena dvojice vrstev – jedna deponovaná za přítomnosti acetylenu a druhá za přítomnosti metanu.
Analýzy připravených vrstev mohou být provedeny vhodnou kombinací těchto metod: vnitřní strukturu deponovaných vrstev lze studovat rentgenovou difrakcí, metodami HRTEM a HRSEM nebo metodou AFM v modech materiálového kontrastu a kontrastu elastických vlastností. Složení vrstev lze určit infračervenou spektroskopií, metodami EDAX, WDX, metodami XPS, RBS a ERDA. Optické a mechanické vlastnosti připravených tenkých vrstev lze vyhodnotit fázově modulovanou elipsometrií a indentačními testy. Nanoindentační zkoušky lze provést metodou continuous stiffness measurement.