FC250 Plasma and Dry Nano/Microtechnologies

Přírodovědecká fakulta
jaro 2021
Rozsah
2/1/0. 3 kr. (plus ukončení). Ukončení: k.
Vyučující
doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D. (přednášející)
Garance
prof. RNDr. Mirko Černák, CSc.
Ústav fyzikální elektroniky - Fyzikální sekce - Přírodovědecká fakulta
Kontaktní osoba: doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.
Dodavatelské pracoviště: Ústav fyzikální elektroniky - Fyzikální sekce - Přírodovědecká fakulta
Předpoklady
Basic knowledge of vacuum technique, gas kinetics, principles of chemical reactions, surface processes (adsorption, desorption, difusion), plasma processes and interaction of ions with materials. It is advantageous to pass the course F4280 Thin Films Deposition and Surface Modification Technologies.
Omezení zápisu do předmětu
Předmět je otevřen studentům libovolného oboru.
Cíle předmětu
The goal of the course is to provide an overview of micro/nanofabrication methods based on gas phase processes, either purely physical, chemical or using combination of physical and chemical approaches.
Výstupy z učení
At the end of the course students should be able to explain different approaches in nano/microtechnologies and understand their basic principles and requirements.
Osnova
  • Nanotechnology - Definition and Examples
  • Repetition of Knowledge Base for Micro-/Nanotechnologies (gas kinetics, principles of chemical reactions, surface processes, plasma processes and interaction of ions with materials)
  • Basic Microfabrication Techniques (lithography, thin film deposition and doping, etching and substrate removal, substrate bonding)
  • MEMS Fabrication Techniques (bulk micromachining, surface micromachining, high-aspect-ratio micromachining)
  • Nanofabrication Techniques (e-beam nanofabrication, epitaxy and strain engineering, scanning probe techniques, self-assembly and template manufacturing)
  • Synthesis of carbon-based nanomaterials
  • Lessons from Nature - Biomimetics (multifunctional plant surfaces and smart materials, lotus effect: surfaces with roughness-induced superhydrophobicity, self-cleaning and low adhesion, biologically inspired attachment systems, gecko feet)
Literatura
  • Springer handbook of nanotechnology. Edited by Bharat Bhushan. 3rd rev. and extended ed. New York: Springer, 2010. xlviii, 19. ISBN 9783642025242. info
  • CHEN, Francis F. a Jane P. CHANG. Lecture notes on principles of plasma processing. New York, N.Y.: Kluwer Academic/Plenum publishers, 2003. ix, 208. ISBN 0306474972. info
Výukové metody
The course major part are lectures that are supplemented by laboratory tasks in CEITEC Nano Research Infrastructure.
Metody hodnocení
colloquim - written test
Vyučovací jazyk
Angličtina
Další komentáře
Předmět je vyučován jednou za dva roky.
Výuka probíhá každý týden.
S.
Předmět je zařazen také v obdobích jaro 2008 - akreditace, jaro 2011 - akreditace, jaro 2007, jaro 2008, jaro 2009, jaro 2010, jaro 2011, jaro 2012, jaro 2012 - akreditace, jaro 2013, jaro 2015, jaro 2017, jaro 2019.
  • Statistika zápisu (nejnovější)
  • Permalink: https://is.muni.cz/predmet/sci/jaro2021/FC250