Závěrečná práce: Bc. Zvonimír Jílek: Numerická simulace erozních profilů při DC magnetronovém naprašování
Diplomová práce
Numerická simulace erozních profilů při DC magnetronovém naprašování
Numerical simulation of DC magnetron sputtering erosion groove
Anotace
Tato diplomová práce se zabývá numerickými simulacemi erozních profilů při DC magnetronovém naprašování. Při simulacích je použita metoda testovacích elektronů, pomocí které se sledují energetické elektrony v magnetronovém výboji. Srážky elektronů jsou uskutečněny pomocí metody Monte-Carlo. Pomocí míst ve kterých proběhly ionizační srážky se nakonec odhadne eroze terče. Testovací elektrony jsou sledovány …více
Abstract
This thesis deals with numerical simulations of an erosion groove in DC magnetron sputtering. Test-electron method is used to simulate the trajectory of energetic electrons in magnetron discharge. Electron collisions are implemented using Monte-Carlo method. Sites where ionisation collisions occur are used to estimate the erosion groove. Test-electrons are traced in a magnetic field which is generated …více
Zadání práce
21. 5. 2022 08:08, Mgr. Adam Obrusník, Ph.D., učo 356468
Konzultant
abs PřF MU
Práce na příbuzné téma
Seznam prací, které mají shodná klíčová slova.
-
Depozice a charakterizace elektrochromního materiálu připraveného magnetronovým naprašováním
Bc. David Lubojacký -
Příprava a analýza povlaků připravených v multipulzním módu magnetronového naprašování pulzy vysokého výkonu
Mgr. Tomáš Rada, učo 484866 -
Studium struktury nanolaminátních tenkých vrstev tvořených kovem, uhlíkem a bórem připravených v průmyslových depozičních podmínkách
Mgr. Pavol Matej -
In-situ studium vnitřního pnutí vrstev připravených pomocí magnetronového naprašování
Mgr. Nikola Tulisová -
Příprava funkčních vrstev metodami PVD
Mgr. Radek Žemlička, Ph.D., učo 270180 -
Charakterizace tenkých vrstev oxynitridů přechodových kovů s hliníkem
Bc. Jan Zbožínek -
Příprava Ta-B-C vrstev a studium jejich korozních vlastností
Mgr. Maroš Polaček -
Study of sputtered particles densities in non-reactive and reactive HIPIMS process
Mgr. Katarína Bernátová, Ph.D.




