Filtrování publikací
-
VAŠINA, Petr a Pavel DVOŘÁK. Harmonic analysis of discharge voltages as a tool to control the RF sputtering deposition process. Europhysics Letters. European Physical Society, 2009, roč. 85, č. 1, s. 15002-15006. ISSN 0295-5075.
Název česky: Analýza harmonických složek napětí v plazmatu jako nástroj kontrolu vf. naprašování
RIV/00216224:14310/09:00029226 Článek v odborném periodiku. Fyzika plasmatu a výboje v plynech. angličtina. Francie.
Vašina, Petr (203 Česká republika, garant) -- Dvořák, Pavel (203 Česká republika)
Klíčová slova anglicky: higher harmonics; plasma; discharge; reactive sputtering; magnetron
Mezinárodní význam: ano
Recenzováno: ano
Změnil: prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782. Změněno: 24. 6. 2009 14:05.Podrobněji: https://is.muni.cz/publication/824202/cs -
DVOŘÁK, Pavel a Zdeněk MORAVEC. Higher harmonics of plasma potential in capacitively coupled discharges. In Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics 8 - Book of abstracts. Brno: VUT Brno, 2009, s. 57. ISBN 978-80-214-3875-0.
Název česky: Vyšší harmoniky potenciálu plazmatu kapacitně vázaných výbojů
RIV/00216224:14310/09:00035970 Stať ve sborníku. Fyzika plasmatu a výboje v plynech. angličtina. Česká republika.
Dvořák, Pavel (203 Česká republika, garant) -- Moravec, Zdeněk (203 Česká republika)
Klíčová slova anglicky: higher harmonics; plasma; discharge; plasma potential
Druh sborníku: předkonferenční sborník
Mezinárodní význam: ano
Změnil: doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D., učo 16711. Změněno: 24. 6. 2009 13:32.Podrobněji: https://is.muni.cz/publication/838255/cs -
VAŠINA, Petr a Pavel DVOŘÁK. Is it possible to control degree of target poisoning during RF reactive magnetron sputtering by higher harmonic frequencies of discharge voltage? In Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics 8 - Book of abstracts. Brno: VUT Brno, 2009, s. 74. ISBN 978-80-214-3875-0.
Název česky: Lze kontrolovat otravu terče při magnetronovém naprašování pomocí vyšších harmonických frekvencí výbojového napětí?
RIV/00216224:14310/09:00029369 Stať ve sborníku. Fyzika plasmatu a výboje v plynech. angličtina. Česká republika.
Vašina, Petr (203 Česká republika, garant) -- Dvořák, Pavel (203 Česká republika)
Klíčová slova anglicky: higher harmonics; plasma; discharge; reactive sputtering; magnetron
Druh sborníku: předkonferenční sborník
Mezinárodní význam: ano
Změnil: doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D., učo 16711. Změněno: 24. 6. 2009 13:46.Podrobněji: https://is.muni.cz/publication/838257/cs -
DVOŘÁK, Pavel a Zdeněk MORAVEC. DEPENDENCE OF HIGHER HARMONIC FREQUENCIES MEASURED IN CAPACITIVELY COUPLED PLASMA ON THE MATCHING UNIT PARAMETERS. Chemické listy. Brno: Česká společnost chemická, 2008, roč. 102, s1311-1538, s. 1356 - 1359. ISSN 1803-2389.
Název česky: Závislost vyšších harmonických frekvencí měřených v kapacitně vázaném výboji na parametrech přizpůsobovacího členu
RIV/00216224:14310/08:00027076 Článek v odborném periodiku. Fyzika plasmatu a výboje v plynech. angličtina. Česká republika.
Dvořák, Pavel (203 Česká republika, garant) -- Moravec, Zdeněk (203 Česká republika)
Klíčová slova anglicky: plasma; discharge; higher harmonics; capacitive; matching
Změnil: doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D., učo 16711. Změněno: 22. 12. 2008 11:16.Podrobněji: https://is.muni.cz/publication/800529/cs -
DVOŘÁK, Pavel a Petr VAŠINA. Harmonic analysis of discharge voltages as a tool to control RF sputtering deposition process. In 19th Europhysics Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases - Book of Abstracts. 32 A. Granada: European Physical Society, 2008, s. 78P (topic 5), 2 s. ISBN 2-914771-04-5.URL
Název česky: Kontrola reaktivního naprašování pomocí analýzy harmonických frekvencí napětí vf. výboje
RIV/00216224:14310/08:00024832 Stať ve sborníku. Fyzika plasmatu a výboje v plynech. angličtina. Španělsko.
Dvořák, Pavel (203 Česká republika, garant) -- Vašina, Petr (203 Česká republika)
Klíčová slova anglicky: magnetron; reactive sputtering; plasma; discharge; higher harmonics;
Druh sborníku: předkonferenční sborník
Mezinárodní význam: ano
Recenzováno: ano
Změnil: prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782. Změněno: 7. 8. 2008 09:52.Podrobněji: https://is.muni.cz/publication/773053/cs -
DVOŘÁK, Pavel a Zdeněk MORAVEC. Higher harmonic frequencies measured in Capacitively Coupled Plasma. In 2nd CESPC - Book of extended abstracts. Brno: Ústav fyzikální elektroniky (PřF MU), JČM, 2008, s. 74.
Název česky: Vyšší harmonické frekvence měřené v kapacitně vázaném plazmatu
RIV/00216224:14310/08:00027077 Stať ve sborníku. Fyzika plasmatu a výboje v plynech. angličtina. Česká republika.
Dvořák, Pavel (203 Česká republika, garant) -- Moravec, Zdeněk (203 Česká republika)
Klíčová slova anglicky: plasma; higher harmonics
Druh sborníku: předkonferenční sborník
Změnil: doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D., učo 16711. Změněno: 22. 12. 2008 11:27.Podrobněji: https://is.muni.cz/publication/800530/cs -
DVOŘÁK, Pavel a Petr VAŠINA. Measurement of Fundamental and Higher Harmonic Frequencies as Tool to Control RF Sputtering Deposition Process. In Programme and Abstract Book of the 23rd Symposium on Plasma Physics and Technology. Praha: CVUT v Praze, 2008, s. 91-92, 1 s. ISBN 978-80-01-04030-0.
Název česky: Měření základní a vyšších harmonických frekvencí za účelem kontroly vf. reaktivního naprašování
RIV/00216224:14310/08:00024835 Stať ve sborníku. Fyzika plasmatu a výboje v plynech. angličtina. Česká republika.
Dvořák, Pavel (203 Česká republika, garant) -- Vašina, Petr (203 Česká republika)
Klíčová slova anglicky: higher harmonics; plasma; discharge; reactive sputtering; magnetron
Druh sborníku: předkonferenční sborník
Změnil: prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D., učo 21782. Změněno: 7. 8. 2008 09:53.Podrobněji: https://is.muni.cz/publication/773067/cs
2009
2008
Zobrazeno: 19. 9. 2024 19:52